地址:河北省平泉縣平泉鎮(zhèn)
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分子式:HF 分子量:20.01
用途:應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕 ,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一 ,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。還可用于太陽(yáng)能電池行業(yè)硅表面清洗、蝕刻。
電子級(jí)氫氟酸 | ||||
級(jí)別 | UPS級(jí) | UP級(jí) | EL級(jí) | |
項(xiàng)目 | 單位 | 指標(biāo) | 指標(biāo) | 指標(biāo) |
含量 Assay(HF) | % | 49±0.5 | 49±0.5 | 49±0.5 |
氟硅酸(H2SiF6) | ppm | ≤50 | ≤50 | ≤50 |
氯化物 (Cl) | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
硝酸鹽 (NO3-) | ppm | ≤3 | ≤3 | ≤3 |
磷酸鹽 (PO43-) | ppm | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
硫酸鹽和亞硫酸鹽 | ppm | ≤5 | ≤5 | ≤5 |
鋰 (Li) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鈉 (Na) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鎂 (Mg) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鋁 (Al) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鉀 (K) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鈣 (Ca) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鉻 (Cr) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鐵 (Fe) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鈷 (Co) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鎳 (Ni) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
銅 (Cu) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鋅 (Zn) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
鎵 (Ga) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鉬 (Mo) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
銀 (Ag) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鎘 (Cd) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
錫 (Sn) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鋇 (Ba) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
鉑 (Pt) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤100 |
金 (Au) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
錳 (Mn) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤20 |
鉛 (Pb) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤50 |
鈦 (Ti) | ppb | ≤1 | ≤10 | ≤10 |
市場(chǎng)總監(jiān):叢偉孜 電話:15133863258 E-mail:cdykjxhg@163.com注:客戶特種要求可協(xié)商特定規(guī)格生產(chǎn)。